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            石墨舟有什么工作原理?

            發(fā)布作者:jcadmin      發(fā)布時間:2023年11月20日

                 石墨舟裝片房:用于太陽能職業(yè)與PECVD承載車配套、裝取硅片、制作中效及高效過濾器,確保吹出的空氣抵達凈化要求。
            石墨舟作業(yè)原理:
              空氣經(jīng)過高效過濾后,阻尼層均壓,使?jié)崈舻目諝鈿饬鞔怪眴蜗蛩腿胙b片作業(yè)區(qū),然后確保了作業(yè)區(qū)內(nèi)抵達工藝要求的潔凈度,操作人員在潔凈的環(huán)境中往石墨舟上裝硅片。
            石墨舟主要特點:
              1、能準(zhǔn)確的使石墨舟承載裝片車定位;
              2、選用不銹鋼制作,整機結(jié)構(gòu)穩(wěn)固可靠;
              3、選用GK系列高效空氣過濾器3只;
              4、PECVD承載車在里面可歪斜15度或旋轉(zhuǎn)180度;
              5、凈化風(fēng)機噪音小于50dB。
              6、確保了作業(yè)區(qū)內(nèi)抵達工藝要求的潔凈度100級。