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            石墨舟的預(yù)熱及預(yù)處理方法

            發(fā)布作者:jcadmin      發(fā)布時(shí)間:2024年01月19日

            石墨舟的預(yù)熱
                1.烘干后的石墨舟由出產(chǎn)、工藝、設(shè)備查看無損壞后,一起將石墨舟進(jìn)行預(yù)熱。
                2.預(yù)熱時(shí)石墨舟內(nèi)不放硅片,將需求預(yù)熱的舟放入閑暇的爐管,此爐管不進(jìn)行工藝,只需手動(dòng)把真空泵的閥門打開就行了。
            石墨舟的預(yù)處理(鍍舟)
                將空的石墨舟由出產(chǎn)、工藝、設(shè)備承認(rèn)無反常之后,把石墨舟放進(jìn)爐管開始進(jìn)行預(yù)處理(鍍舟),其他的步驟跟正常的出產(chǎn)工藝都一樣,但到“淀積”那一步時(shí)將工藝堅(jiān)持一個(gè)小時(shí),然后再進(jìn)行下面的步驟,等到工藝完畢,石墨舟從爐管內(nèi)出來之后,經(jīng)工藝人員承認(rèn)之后,這個(gè)石墨舟就可以正常使用了。

            石墨舟