用于真空爐石墨部件的防護辦法
    本發(fā)明觸及一種用于真空爐石墨部件的防護辦法，該防護辦法包括:
    1)對真空爐石墨部件進行拋光打磨,使真空爐石墨部件的表面粗糙度抵達0.5mm以下；
    2)將拋光打磨后的真空爐石墨部件放入CVD爐內；
    3)設定CVD爐內的溫度和壓力，向CVD爐內通入甲烷和氮氣或許通入三氯化硼，氨氣和惰性氣體，畢竟在石墨部件表面堆積一層熱解石墨涂層或熱解氮化硼涂層。
    本發(fā)明經過在真空爐石墨部件表面涂覆一層熱解石墨或熱解氮化硼涂層，一方面可以避免石墨粉塵蒸發(fā)出來污染反響腔室，然后行進產品的純凈度；另一方面可以維護真空爐石墨部件，延伸真空爐石墨部件的使用壽命，下降企業(yè)本錢。